Parizvino, dzinenge dzese dzepamusoro-yepamusoro-yepamusoro-yakanyanya kuchena simbi yemhangura zvinonangwa neiyo IC indasitiri inodzorwa nemakambani mazhinji makuru ekunze ekunze.Zvese zvinongedzo zvemhangura zvinodikanwa neindasitiri yemumba yeIC zvinoda kutengwa kunze kwenyika, izvo zvisingadhure chete, asi zvakare zvakaomarara mumaitiro ekunze. .Ngatitarisei pane akakosha mapoinzi uye matambudziko mukuvandudza kweyepamusoro-yakanyanya kuchena (6N) nhanho dzemhangura dzekuputira.
1,Kuvandudzwa kwezvinhu zvakachena zvakanyanya
Iyo tekinoroji yekuchenesa yemhando yepamusoro Cu, Al uye Ta simbi muChina iri kure neiyo munyika dzakabudirira.Parizvino, mazhinji emasimbi akachena-akachena anogona kupihwa haakwanise kuzadzisa zvinodikanwa zvemaseketi akabatanidzwa ekuputira zvinangwa zvinoenderana neyakajairwa nzira dzese dzekuongorora zvinhu muindasitiri.Nhamba yekubatanidzwa mune chinangwa yakawandisa kana kugoverwa zvisina kuenzana.Zvimedu zvinowanzoumbwa pawafer panguva yekuputika, zvichikonzera kupfupika kwedunhu kana kuvhurika dunhu rekubatanidza, izvo zvinokanganisa zvakanyanya kuita kwefirimu.
2,Kuvandudzwa kwemhangura sputtering chinangwa chekugadzirira tekinoroji
Iko kuvandudzwa kwemhangura sputtering chinangwa chekugadzirira tekinoroji inonyanya kutarisisa pazvinhu zvitatu: saizi yezviyo, kudzora kwekutarisa uye kufanana.Iyo semiconductor indasitiri ine yakanyanya kudiwa yekuputira zvinangwa uye evaporating mbishi zvinhu.Iyo ine zvakanyanya kuomesesa zvinodiwa zvekutonga kwepamusoro zviyo saizi uye kristaro kutaridzika kwechinangwa.Saizi yezviyo yechinangwa inofanira kudzorwa pa100μ M pasi, saka, kutonga kwehukuru hwezviyo uye nzira dzekuongorora kuwirirana nekuona zvakakosha pakugadzirwa kwezvinangwa zvesimbi.
3,Kubudirira kwekuongorora uyekuedza teknolojia
Kuchena kwepamusoro kwechinangwa kunoreva kuderedzwa kwetsvina.Munguva yakapfuura, inductively yakasanganiswa plasma (ICP) uye atomic absorption spectrometry yaishandiswa kuona kusvibiswa, asi mumakore achangopfuura, glow discharge quality analysis (GDMS) nekunzwa kwepamusoro yakashandiswa zvishoma nezvishoma seyero. nzira.Iyo yakasara yekudzivirira chiyero RRR nzira inonyanya kushandiswa pakugadzirisa kuchena kwemagetsi.Chisungo chayo chekutsunga ndechekuongorora kuchena kwesimbi yepasi nekuyera dhigirii rekuparadzirwa kwemagetsi kwetsvina.Nekuti ndeyekuyera kupikisa pane tembiricha yekamuri uye yakadzika kwazvo tembiricha, zviri nyore kutora iyo nhamba.Mumakore achangopfuura, kuitira kuti uongorore essence yesimbi, tsvakiridzo pamusoro pekuchena kwepamusoro-soro kunoshanda zvakanyanya.Muchiitiko ichi, RRR kukosha ndiyo nzira yakanakisisa yekuongorora kuchena.
Nguva yekutumira: Chivabvu-06-2022