Sputtered target materials ine zvakakwirira zvinodiwa panguva yekushandiswa, kwete chete kuchena uye particle size, asiwo yeuniform particle size.Izvi zvinodikanwa zvakakwirira zvinoita kuti titarise zvakanyanya kana tichishandisa sputtering chinangwa zvinhu.
1. Kugadzirira kupfira
Zvinonyanya kukosha kuchengetedza kuchena kwekamuri yevacuum, kunyanya sputtering system.Mafuta ekuzora, huruva, uye chero zvisaririra kubva pamabhandiko apfuura zvinogona kuunganidza zvinosvibisa zvakaita semvura, zvichikanganisa vacuum zvakananga uye zvichiwedzera mukana wekutadza kuumbwa kwemafirimu.Maseketi mapfupi, kuvharika kwechinangwa, nzvimbo dzekugadzira firimu, uye kusvibiswa kwakanyanyisa kwemakemikari zvinowanzokonzerwa nemakamuri asina kuchena, pfuti, uye zvinonangwa.
Kuti uchengetedze maitiro ekugadzirisa kwekuputira, gasi rinoputika (argon kana oksijeni) rinofanira kuva rakachena uye rakaoma.Mushure mekuisa iyo substrate mukamuri yekuputira, mweya unofanirwa kuburitswa kuti uwane iyo inodiwa vacuum level yekuita.
2. Chinangwa chekuchenesa
Chinangwa chekuchenesa chinangwa ndechekubvisa chero guruva kana tsvina inogona kunge iripo pamusoro pechinangwa.
3. Kuiswa kwechinangwa
Chinhu chinonyanya kukosha chekuteerera panguva yekuiswa kwechinhu chinotarirwa ndechekuona kubatana kwakanaka kwekupisa pakati pechinhu chakanangwa uye madziro anotonhorera epfuti inoputika.Kana madziro ekutonhodza kana ndiro yekumashure yakamonyoroka zvakanyanya, inogona kukonzera kutsemuka kana kukotama panguva yekuiswa kwezvinhu zvakanangwa.Kupisa kwekushisa kubva kune chinangwa chekumashure kusvika kune chinangwa chechinhu chichakanganiswa zvikuru, zvichikonzera kusakwanisa kubvisa kupisa panguva yekuputira, zvichizoguma nekutsemuka kana kutsauka kwezvinhu zvinotarirwa.
4. Kutenderera kwepfupi uye kuvhara chisimbiso chekuongorora
Mushure mekuiswa kwezvinhu zvinotarirwa, zvinodikanwa kutarisa pfupi pfupi uye chisimbiso checathode yese.Zvinokurudzirwa kushandisa ohmmeter uye megohmmeter kuona kana cathode iri pfupi circuited.Mushure mekusimbisa kuti cathode haina kupfupika kutenderera, kuona kubuda kwemvura kunogona kuitwa nekubaya mvura mucathode kuona kana paine chabuda.
5. Target zvinhu pre sputtering
Inokurudzirwa kushandisa pure argon gasi yepre sputtering yechinhu chakanangwa, chinogona kuchenesa pamusoro pechinhu chakanangwa.Zvinokurudzirwa kuwedzera zvishoma nezvishoma simba rekupfira panguva yepre sputtering process yechinhu chakanangwa.Simba receramic target material
Nguva yekutumira: Oct-19-2023