Chinangwa chine mabasa mazhinji uye mashandisirwo akafara mundima dzakawanda.Midziyo mitsva yekupuruzira inenge inoshandisa magineti ane simba kutenderedza maerekitironi kuti ikurumidze ionization yeargon yakatenderedza chinangwa, izvo zvinowedzera mukana wekudhumhana pakati pechinangwa neargon ions,
Wedzera sputtering rate.Kazhinji, DC sputtering inoshandiswa kugadzira simbi, nepo RF yekukurukurirana sputtering inoshandiswa kune isiri-conductive ceramic magineti zvinhu.Musimboti wakakosha kushandisa kuburitsa kupenya kurova argon (AR) maion pamusoro pechinangwa muvacuum, uye macations ari muplasma anomhanyisa kumhanyira kune yakashata electrode kumusoro seyakapwanyika zvinhu.Izvi zvinozoita kuti zvinhu zvechinangwa zvibhururuke kunze uye kuisa pane substrate kugadzira firimu.
Kazhinji, kune akati wandei maficha ekuputira firimu uchishandisa sputtering process:
(1) Simbi, alloy kana insulator inogona kugadzirwa kuita yakatetepa firimu data.
(2) Pasi pemamiriro ekugadzirisa akakodzera, iyo firimu ine chimiro chakafanana inogona kugadzirwa kubva kune dzakawanda uye dzakakanganiswa zvinangwa.
(3) Musanganiswa kana musanganiswa wezvinonangwa zvinhu uye gasi mamorekuru anogona kugadzirwa nekuwedzera okisijeni kana mamwe magasi anoshanda mumhepo inoyerera.
(4) Iyo inonangwa yekupinza yazvino uye nguva yekupopota inogona kudzorwa, uye zviri nyore kuwana yakakwirira-chaiyo firimu ukobvu.
(5) Inobatsira mukugadzirwa kwemamwe mafirimu.
(6) Zvimedu zvakapwanyika hazvitombokanganiswi negiravhiti, uye chinangwa uye substrate inogona kurongeka zvakasununguka.
Nguva yekutumira: May-24-2022